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3M™ Novec™

Halbleiter-Industrie

Die 3M™ Novec™ High-Tech Flüssigkeiten und Elektronik Netzmittel sind für die unterschiedlichsten Anforderungen in der Halbleiterfertigung geeignet. Sie sind z.B. für die Formulierung von gepufferten Oxydätzmischungen oder von nicht schädigenden fotoresistenten Lösungen verwendbar.

Die Novec-Flüssigkeiten werden auch als Reiniger für die Entfernung von Fluorpolymer-Resten verwendet. Die Wafertrockung kann ebenfalls mittels Novec erfolgen. Als Wärmemanagement-Medien haben sich die modernen Novec-Flüssigkeiten weltweit in vielen Chiller-Anwendungen (z.B. zur Waferplattentemperaturkontrolle) durchgesetzt.

Die Novec-Produkte ermöglichen es den Halbleiter-Herstellern, die Treibhausgasemissionen, wie sie durch PFC's und HFC's entstehen, stark zu reduzieren, denn sie besitzen eine kurze atmosphärische Lebensdauer und ein geringes Erderwärmungspotenzial.


Wafer-Reinigung

Die 3M™ Novec™ High-Tech Flüssigkeiten verfügen über eine geringe Oberflächenspannung, eine geringe Viskosität und Verdunsten schnell. Deshalb sind diese Medien hervorragend für den Einsatz in Trocknungsprozessen geeignet. Auch Bauteile mit sehr feinen Oberflächenstrukturen lassen sich optimal damit trocknen.

Außerdem können die Novec-Flüssigkeiten Fluorpolymer-Rückstände optimal lösen und entfernen effektiv Ätzrückstände, die wärend des MEMS- und Silizium-Bohrungs-Prozesses entstehen.

Die Novec-Medien können mit anderen Lösungen (Co-Solvents) vermischt werden. Dadurch entstehen Lösungen, die zum Entfernen von Fotolacken aus wassersensitiven Substraten, die bei Cu/low-k Baugruppen verwendet werden, geeignet sind.
3M hat eine Recycling-Technologie entwickelt, die für Flüssig- und Dampfphasenreinigungsanlagen geeignet ist.

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Wärmemanagement

Die 3M™ Novec™ High-Tech Flüssigkeiten sind für Wärmemanagement-Anwendungen in der Halbleiter-Fertigung bestens geeignet. Sie sind elektrisch nicht leitend und nicht brennbar. Außerdem verfügen die Medien über vorteilhafte Umwelteigenschaften und bieten dem Personal ein hohes Maß an Arbeitssicherheit.

Die neuen Entwicklungen in der Halbleiter-Industrie erhöhen auch die Anforderungen an diese elektrisch nicht leitenden Medien, da sie entscheidend dazu beitragen, die erforderliche Temperatur während des Herstellprozesses zu halten.

Die Novec-Flüssigkeiten sind sehr zuverlässige Wärmemanagement-Medien. Sie verfügen über eine lange Standzeit und gute Materialverträglichkeitseigenschaften. Aufgrund ihrer Umwelteigenschaften handelt es sich um zukunftsgerechte Produkte.

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Netzmittel

3M™ Novec™ Elektronik Netzmittel (US, englisch) sind Perfluorbutylsulfunat-basierende (PFBS) Netzmittel. Basierend auf einem Life-Cycle-Test und auf den Untersuchungen der toxischen Eigenschaften stuft 3M diese Materialien in die Kategorie "nachhaltige Technologie" ein. Diese Netzmittel sind sehr effektive Additive, die eine stark reduzierte und stabile Oberflächenspannung erzeugen. Sie können in wäßrigen-, sauren- und basischen Systemen eingesetzt werden.

In vielen Anwendungen reicht bereits ein Anteil von 100 ppm Novec-Netzmittel aus, um die Oberflächenspannung auf weniger als 22 mN/m zu reduzieren.

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Halbleiter-Reinigung

3M™ Novec™ 7100 High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 71DE High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 71DA High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 71IPA High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 7200 High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 72DE High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 72DA High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 7300 High-Tech Flüssigkeit
3M™ Novec™ 7500 High-Tech Flüssigkeit

3M™ Novec™ 7200DL High-Tech Flüssigkeit (US, englisch)
3M™ Novec™ 7100DL High-Tech Flüssigkeit (US, englisch)

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Broschüren

PDF3M™ Novec™ Flüssigkeiten zur Trockung von Halbleiter Wafers PDF 1.84 MB

PDF3M™ Wärmemanagment-Flüssigkeiten für die Elektronik Industrie PDF 2.30 MB

Datenblätter

PDF3M™ Novec™ 72DA High-Tech Flüssigkeit PDF 360k

PDF3M™ Novec™ 72DE High-Tech Flüssigkeit PDF 350k

PDF3M™ Novec™ 71IPA High-Tech Flüssigkeit PDF 350k

PDF3M™ Novec™ 7000 High-Tech Flüssigkeit PDF 310k

PDF3M™ Novec™ 7100 High-Tech Flüssigkeit PDF 380k

PDF3M™ Novec™ 7200 High-Tech Flüssigkeit PDF 370k

PDF3M™ Novec™ 7300 High-Tech Flüssigkeit PDF 370k

PDF3M™ Novec™ 7500 High-Tech Flüssigkeit PDF 370k

Datenblätter in englischer Sprache

PDF3M™ Novec™ 7100DL High-Tech Flüssigkeit PDF 61k

PDF3M™ Novec™ 7200DL High-Tech Flüssigkeit PDF 94k

PDF3M™ Novec™ 71DA High-Tech Flüssigkeit PDF 51k

PDF3M™ Novec™ 71DE High-Tech Flüssigkeit PDF 51k

Weitere technische Informationen

PDFWärmemanagement mit Novec – Auswahl des geeigneten Mediums PDF 501k

PDFPräzisions- und Elektronik-Reinigung – FAQ‘s PDF 263k

PDFFluor-Fluids mit niedrigem GWP als Alternativen zu FKW & PFKW PDF 406k

PDFHydrofluorether im Vergleich zu wasserbasierenden Reinigungsmittel-Lösungen PDF 352k

PDFHFE-Reinigung - eine innovative Alternative zu wasserbasierenden Reinigungssystemen PDF 459k

Video

Präzisionsreinigen mit 3M™ Novec™ High-Tech-Flüssigkeiten

Flyer in englischer Sprache

PDF3M™ Novec™ Engineered Fluids Solvent vs. Aqueous Flyer PDF

Weitere technische Informationen in englischer Sprache

PDFReducing Emissions of PFC Heat Transfer Fluids PDF 70k

PDFThe Use of Segregated Hydrofluorethers as Cleaning Agents in Electronic Packaging Applications PDF 930k

PDF3M™ Novec™ Engineered Fluids Solvent vs. Aqueous Flyer PDF 920k


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